带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV 返回列表页

产品型号

带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有冷系统，炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3、一端法兰配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。

4、采用三个独立PID控制器 ，可以设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  7KW （40A保险丝）

2、石英管：外径Ø125mm，内径120mm，长1400mm，带有一对真空密封法兰

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域：温区I长229mm，温区II长457mm，温区III长229mm，总长915mm

5、恒温区域：三个温区为同一温度时为625mm，温区II为110mm

6、工作温度：高1200℃，连续工作1100℃

7、大升降温速率：20℃/min

8、控温精度：±1℃

9、热电偶：K型

10、浮子流量计：3个，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min

11、数字真空计：10^-4torr

产品规格

尺寸：管式炉1080mm×430mm×600mm；重量：70kg