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高真空度等级适用型传感器［GN系列］

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更新时间：2021-09-07 11:26:16浏览次数：200次

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产品简介
仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。 在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中，广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。

详情介绍

机型一览

代表型号名称 动作形态 电线方向 下载
GN-PT5M3A A : NO 直型
产品目录
（PDF）
2D CAD
GN-PT5M3B B : NC
GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
GN-PT5M3B-R B : NC

电气规格｜ 选购件／使用注意事项｜ 技术指南

主要规格

接点构造 接点型
动作形态 A : NO /B：NC
动作点的重复精度 ON⇄OFF均为0.003mm（范围）常温使用时的数值
适用真空度／容许烘焙温度 10-5Pa　／　120℃
预行程 无（请用信号的切换点调整传感器的安装位置）
迟滞 0
机械寿命 300万次
行程 1.5mm
接触力 0.5N
接点额定值 DC5V～DC24V　稳态电流10mA以下（冲击电流20mA以下）

应用

真空室

检测有无半导体晶片

 

真空制膜装置

玻璃基板的定位确认

 

太阳能发电（PV）真空装置

玻璃基板的定位确认

 

FPD真空制膜装置

玻璃基板的对准

 

FPD真空制膜装置

掩膜托盘的就位检测

 

FPD真空制膜装置

载体的起动确认

 

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