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超小型高精度PT-接触式传感器[PT系列]

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更新时间:2021-09-07 11:28:42浏览次数:297次

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超小型的精密定位传感器。 可直接嵌入半导体生产装置/汽车生产/模具/医疗设备等有限的安装空间,实现机械的小型化。

特点

超小型的尺寸,可实现机械的小型化

外径5mm×全长17mm,超小型的精密定位传感器。

用于半导体生产装置XY轴滑台的平衡定位等有限空间的内”精密定位”、”原点定位”。

1微米的复重精度,300万次的耐久性!!

采用(无需放大器)的”精密机械式”,无外部环境、自发热而导致的温度漂移,可稳定输出高精度的位置信号。

虽然是小型机械式,却具有300万次的机械和电气耐久性。

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