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设备特点
等离子体清洗技术的特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对玻璃、金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。 等离子体的”活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
输送线 | 长度3100mm,速度0—3.6m/min可调,自动/手动设置均可 |
AP plasma宽幅 | 800mm |
喷涂系统有效行程 | 0-820mm可调 |
输入电压 | AC220V |
功率 | 3KW |
喷雾嘴可调节宽度(Z 轴) | 50mm |
空气压力 | 4~8kg/cm2 |
控制方式 | PLC Type(触摸屏界面控制) |
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