2022-10-20 17:50:55387
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对陶瓷板等平面度进行高精度测量搭载旋转气动台，可测量晶圆抛光用陶瓷板、研磨台等φ1000mm的圆盘表面形状。配备有详细评价用同心圆测量、粗略评价用放射状测量等各种测量所需的评价用软件。
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