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双频激光干涉仪
LH1000双频激光干涉仪
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2022-08-26 11:06:59
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光刻机专用双频激光干涉仪可构建XY位移台等多轴测量系统采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频激光器无圆偏振光转线偏振光非线性误差大功率可同时测量更多数量的轴向位移大频差,测量速度更快
图片来源:
https://www.jc35.com/chanpin/2402192.html
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