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LH1000双频激光干涉仪

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称北京镭测科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-08-26
  • 访问次数1621
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北京镭测科技有限公司(简称“镭测科技”),初建时的技术来自清华大学,现在拥有多项独立的知识产权,主要产品是高精度激光测量仪器、设备,并为客户提供技术方案。 镭测科技生产的高精度测量仪器有:双折射双频激光干涉仪,非接触激光回馈干涉仪,光学元件-建材玻璃内应力(及相位延迟)测量仪,激光纳米测尺等产品,满足机械制造、微电子、光学加工等行业的高精度测量要求。产品质量,交货,售后服务受到广泛好评。 镭测科技是优质的激光精密测量系统和方案供应商,致力于提供的精密检测设备和测量方案,帮助用户提高制造能力和前沿科研水平。 镭测科技是少有的能批量生产双频激光器的公司之一,同时也是一家能生产大频差、高功率、直接输出正交线偏振光双频激光器的公司。 镭测科技生产的双频激光器直接输出线偏振光,没有圆偏振光转换为线偏振光环节的非线性误差,精度更高,产品获2007年国家技术发明二等奖(证书号2007-F-219-2-01-R01)。 镭测科技是少有的集激光基础技术研究、激光基础器件研发和激光应用系统开发的高科技企业,数十年的不懈努力,取得丰硕成果,已取得系列权,获国家技术发明奖二等奖两项。 镭测科技开发生产的可溯源到自然基准的波片相位延迟测量仪是检测机构、实验室标定检测设备,其检测校准方法作为国家标准被颁布执行。 企业宗旨 镭测科技设计、制造和供应可靠、可溯源和质量的计量检测系统,以使用户能实现计量标准的精准几何尺寸测量。 我们的目标是不断创新,提供前沿技术和产品,以满足客户的要求。协助您改善机器性能,满足加工设计要求和指标。帮助您改善生产过程控制、减少瑕疵和返工、降低浪费和生产运行成本。 我们提供的产品会提高您的产品质量和生产效率,增强您的竞争力,使您在越来越激烈的竞争中获得更多的客户和定单。 镭测科技希望成为*的者和社会的贡献者,以有责任感、专业、关爱、开放和诚实的方式实现我们的目标。 镭测将通过优质的服务让全体用户满意。
激光干涉仪
光刻机专用双频激光干涉仪可构建XY位移台等多轴测量系统采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频激光器无圆偏振光转线偏振光非线性误差大功率可同时测量更多数量的轴向位移大频差,测量速度更快
LH1000双频激光干涉仪 产品信息

专为光刻机配套开发的高精度测量系统;

通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

采用直接输出线偏振光的双频激光器;

非线性高精密测量系统,测量更精准;

可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。

光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;

精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;

标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。



型号

频差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

稳频精度(ppm)

LH1000A

1.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.0±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.0±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.0±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:可根据需求定制更小频差范围。

微信截图_20210616121113.png


恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

LH1000双频激光干涉仪应用于尼康光刻机后,其工作台精度由原来的23nm提高到6nm!

图片1.jpg


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