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气浮或静油*承是几乎没有摩擦的移动，旋转无回程误差，在实际使用中没有磨损。气浮轴承*适合用于如洁净室环境及高移动速度。同样的结构尺寸，使用油作为载体可以可高承重能力与防震特性。德国LTUltra超精密公司针对
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