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德国FRT测量系统应用于所有类型的表面测量分析。纳米表面测量仪采用一个或多个传感器高精密测量轮廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光学白光色差传感器进行非接触无损伤测量，工作
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