描绘范围 X轴 100mm（4" ）
Z轴 40m（1.57" ）
纪录倍率 X轴 1X﹑2X﹑5X﹑10X﹑20X﹑50X﹑100X﹑200X
Z轴 1X﹑2X﹑5X﹑10X﹑20X﹑50X﹑100X﹑200X
尺体 X轴 精密玻璃线性尺（0.2μm）
Z轴 圆弧尺（0.5μm）
量测精度 X轴 ±（3.5+2L/100）μm
Z轴 ±（3.5+4H/25）μm
驱动部垂直行程 320mm
驱动部倾斜范围 ±45°
移动方向 缩回
真直度 5μm/50mm（197μinch/2" ）
测针描绘角度 上升:77°（视工件表面条件而定）﹑下降: 87°（视工件表面条件而定）
测针速度 描绘时: 0.25mm（0.008" /s）﹑0.5mm/s（0.02" /s）﹑缩回时: 0.2mm/s﹑1mm/s（0.04" /s）或手动
测针的垂直向移动 圆运动（数字线性补正 ）
测针*方向 向下
测定压力 使用直臂时10到30mN（1到3gf）
数字资料输出 藉由RS-232C接口
操作温度 15°C~25°C
电源 藉由AC变压器（100/110/120/220/240V AC±10% ）或电池匣
电力消耗 5W
外观尺寸 687.7*450*739mm
总重量 115.8kg
