微流控芯片激光加工设备专为微流控芯片、生物传感器及实验室芯片的精密制造而研发。采用高精度CO₂激光技术(波长10.6μm),可在PDMS、PMMA、COC、PET等聚合物材料上实现微米级流道雕刻与切割,满足体外诊断(IVD)、器官芯片、药物筛选等生命科学领域的高精度加工需求。
核心优势
🔹 高精度微加工
采用CO₂激光冷加工技术,最小特征尺寸可达20μm,边缘光滑无毛刺,确保微流道流体性能稳定。
支持多层材料(如PDMS-玻璃键合芯片)的穿透切割与表面微结构加工,避免传统机械加工导致的材料变形或污染。
🔹 智能工艺控制
自适应能量调节系统,实时监测材料特性,自动优化激光参数(功率、频率、扫描速度),确保加工一致性。
🔹 多材料兼容性
适配PDMS、PMMA、COC、PET、水凝胶等多种材料,厚度范围50μm~5mm。
🔹 高效洁净加工
集成恒温恒湿洁净模块,防止环境波动影响加工精度。
实时气溶胶抽排系统,避免加工碎屑污染芯片表面,符合ISO 14644-1洁净室标准。
技术参数
激光器:30W、60W,金属射频管,风冷
聚焦镜:标配2.0”且可兼容2.5”、3.0”聚焦镜
工作区域:510×310 mm
Z轴工作台调整:0~150 mm,电动升降平台
机箱设计:前门展开
对焦方式:探针式自动对焦
雕刻速度:1000mm/sec
最小切割线缝:30微米
加工材料:PMMA、PDMS、PET、硅、玻璃、陶瓷、水凝胶、纸等大部分的非金属材料的切割/雕刻
软件功能:红光定位,以太网络,1G脱机内存,空气侧吹防燃、浮雕直接输出、斜坡效果、反色雕刻、坡度补正、激光打孔、画笔功能、重直和水平雕刻、RDIMage位图处理
定位指示:红光模组指示
使用语言:可切换中英文且可自定语系
操作方式:可利用Windows兼容的打印机驱动程式来设定,或从操作面板由人工设定
分辨率:2000 DPI
记忆体容量:1G高记忆体
存储数量:99个文档
激光能量控制:数位式功率控制,可由0.4~96%无段控制
输出端口:USB 接口、以太网络连接接口
典型应用
体外诊断(IVD)芯片制造
微流道、混合腔、检测区的精密加工,适用于PCR芯片、微流控免疫检测卡、液滴生成芯片等。
器官芯片(Organ-on-a-Chip)
在PDMS或水凝胶上加工仿生血管网络、细胞培养微腔室,模拟人体器官微环境。
药物筛选与单细胞分析
高通量微孔阵列加工,用于药物递送研究、单细胞捕获与分析。
柔性电子与传感器
微电极、柔性电路的激光刻蚀,适用于可穿戴生物传感器、柔性电子器件。
设备配置与服务