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技术参数
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Z轴（沿主轴）
- 行程： 350mm
- 直线度： 0.1μm/100mm
- 分辨率： 1nm
- 进给速度： 20mm/s
X轴（垂直于主轴）
- 行程： 350mm
- 直线度： 0.1μm/100mm
- 分辨率： 1nm
- 进给速度： 20mm/s
主轴（工件轴）
- 径跳和端跳 ： 0.05μm
- 主轴转速： 0-4000rpm
C轴（选配）
- C轴转速： 0-1000rpm
- 转角定位精度： 5″
- 转角重复性定位精度：2″
B轴（液体静）（选配）
- 径跳和端跳：<0.1μm
- 承载：200Kg
- 定位精度：±0.5″
砂轮轴（气体静压）（选配）
- 径跳和端跳：<0.1μm
- 径跳和端跳：<0.1μm
机床配置
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- 采用超精密空气静压主轴，无摩擦损耗，回转精度高，可选配C轴功能
- 天然花岗岩基座，保证机床长久稳定性
- PMAC控制卡
- 主轴采用内装式电机+高精度编码器
- 主轴轴端安装有动平衡盘和真空吸盘
- 超精密液体静压导轨，具有较好的刚性和阻尼性
- X/Z轴均采用直线电机驱动，全闭环控制
