快速的移動軸
- X軸的定位速度可達200 mm / s。
- 比前一代MarSurf PCV和MarSurf CD 120快25倍。
- 該系列所有量測站都具有CNC控制的Z軸。
- Z軸移動速度是以前Mahr Z軸的兩倍。
- 比市場上常見機種的X軸快5倍。
高動態的智慧型測頭系統
- 透過晶片識別探針臂。
- 標準量測範圍可達70 mm達100 mm，使用490 mm探針臂。
- 磁性探頭臂無需使用工具，即可更換探頭臂。
- 探針系統更加的穩定，且可以高動態。
- 可擴展粗糙度評估。
創新的工件夾持治具板
- 治具板390 x 430 mm，孔徑50 mm。
- 治具板Y軸移動可達60 mm。
- 治具板和Y軸調整的組合省去了額外安裝XY工作台的需求。
- 低工件設定更有利工件的量測，這對量測方式有更多變化。

	MarSurf CD 280	MarSurf CD 140
测杆長度	210 mm; 350 mm; 490 mm	210 mm; 350 mm; 490 mm
量測速度	0.02 - 10 mm/s	0.02 - 10 mm/s
量測範圍（X 方向）	0.1~280 mm	0.1~140 mm
解析率	6 nm（210 mm 测杆）	6 nm（210 mm 测杆）
定位速度	0.02 - 200 mm/s (X)	0.02 - 200 mm/s (X)
测量範圍 mm	70 mm（Z 方向，350 mm 测杆） 100 mm（490 mm 测杆）	70 mm（Z 方向，350 mm 测杆） 100 mm（490 mm 测杆）
测量力 (N)	Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可透過軟體调整	Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可透過軟體调整