产品特点
1. 1.NewView™ 9000 系列的 3D 光学表面轮廓仪可以提供多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。其测量都无损、迅速，且不需要样品制备。分析软件描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。
2. 对于各种表面结构，放大倍率及零件高度，可以实现小于 1 纳米到 20000 微米范围的测量，可测量各种材质表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。
3. NewView 9000 系列提供三种配置。带 3 个目镜切换器的NewView 9000 系统。
技术参数
垂直扫描范围 150um 压电陶瓷驱动，20mm 扩展扫描 重复性 ＜0.08nm RMS 重复性 0.008nm 横向分辨
空间采样0.34um(100X 物镜)
0.04um(100x 物镜，2 倍zoom)扫描速度 171um/s 台阶测量
线性度重复性 ≤ 0.1%
小于 20nm 或者 0.1%
测试软件
典型的 MX 数据分析界面
产品应用
1.测量次纳米表面形貌
2.机械加工中的应用
测试实例
1.表面粗糙度测量
2.更快的拼接大尺寸样品平面度
3.区域分析
4.微观表面结构分析
5.划痕分析
产品资料下载
产品介绍-Newview9000
美国ZYGO公司三维非接触式表面轮廓仪-NexviewNX2
ZYGO-Verifire_MST_Brochure
ZYGO-NexviewNX2,NewView9000_ObjectiveChart
ZYGO-Verifire_MST_Brochure
MST+633nm介绍-4inch
