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手套箱激光封焊机

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  • 公司名称中山市镭通激光科技有限公司
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  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-07-15
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镭通激光专注微纳尺寸的加工制造需求,聚焦半导体及光电领域,为客户提供超高精细度的激光加工设备以及半导体封装材料及零部件的一站式解决方案。镭通激光核心团队由来自中科院、清华大学、吉林大学的高精尖人才组成,并有长江学者特聘教授(国际激光微纳加工领域的奠基人之一)作为科学家,涵盖光学、电气、材料、机械设计、精密制造等多个领域,具有强大的技术研发能力。镭通激光拥有精密运动平台结构设计和装配调试、光学系统设计、激光和运动一体化控制、材料和技工工艺方法、机器视觉精确定位等五大基础技术能力,已申请和持有近30项。镭通激光推出专用于微电子器件气密性封装的全自动激光封焊机,已在院所及UV LED无机封装公司应用。镭通激光加工设备广泛应用于半导体与集成电路、5G通讯、新能源、航空航天、等领域,尤其在微电子封装领域,镭通的激光设备已成为行业秘密。镭通激光自主开发了具有性技术的紫外光电器件封装材料及其工艺,显著提高了紫外光电器件的可靠性和寿命,解决了影响紫外光电器件大规模应用的关键痛点问题。镭通将持续保持技术创新,在光量子芯片封装中介板、功率半导体器件衬底、存储介质等材料领域推进产业化。镭通激光长期与清华大学、吉林大学、中科院长春光机所、等单位保持前沿科研合作,持续关注行业需求,以激光微纳加工技术、封装材料技术助力半导体及光电产业发展。
金属卷材激光接料机,微电子器件激光封焊机,手套箱激光封焊机
为对封装环境有更高要求的电子器件专门开发,可实现在真空环境下(10-3Pa)对器件进行气密封装,隔绝外部干扰,保持长期可靠性。
手套箱激光封焊机 产品信息

机型介绍

本机型是为对封装环境有更高要求的电子器件专门开发,可实现在真空环境下(10-3Pa)对器件进行气密封装,隔绝外部干扰,保持长期可靠性。

机型特点

l 新一代光纤激光器,能量更稳定,电光转换效率高,寿命长,易维护,无需任何耗材;

l 适用于可阀、硅铝、铜等金属材料封接;

l 进出双过渡舱,高温烘烤和水冷散热;

l 标配惰性气体环境,选配激光焊接真空腔体。



序号

技术指标

规格参数

1

激光波长

1080nm

2

激光功率

500W

3

功率调节范围

10-99%

4

调制频率

5kHz

5

焊接气氛

氮气、氩气或真空

6

焊接漏率

≤5×10-9Pa·m3/s(标548B)

7

过渡舱真空度

10-3Pa

8

手套箱泄漏率

≤0.05vol%/h

9

净化能力

H2O﹤1ppm ,O21ppm

10

风机流量

0-100m3/h

11

氧分析仪

测量范围0-1000ppm,精度±1%ppm

12

水分析仪

测量范围0-500ppm,精度±1%ppm

13

真空焊接模块(选配)

真空舱体,带激光窗口,真空泵组,管路,真空舱门等

14

尺寸(长宽高)

2670mm×1000mm×1900mm

15

重量

1500KG


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