本在线film膜厚测试仪应用在透明及半透明材料的厚度或涂层的测量，包括半导体镀膜,光刻胶，玻璃减反膜测量，蓝宝石镀膜,ITO玻璃，太阳能镀膜玻璃，各种衬底上的膜厚，膜的颜色测量，卷对卷柔性涂布，其他需要测量膜厚的场合等，无论有无底材或者底材是何种材料均无影响。应用在精密半导体wafer,ITO玻璃，fpc或pcb膜厚，材料表面光学镀膜，电镀阳极处理，UV胶厚等领域。
原理介绍：
利用光谱反射测量PET涂布的膜厚和涂层厚度
质量控制,生产过程控制
用于PET涂布膜厚和涂层检测
软件特点：
1、菜单管理
2、实时在线监控和历史数据界面
3、可根据客户要求定制界面
运动机械配置:
X轴测量 | 自动 |
测量宽度 | 2m（可根据客户要求调整） |
X轴移动速度 | 0.1m/s |
单向扫描时间 | 18秒测18个点(标准) |
马达传动系统 | 1套 |
大型滑轨 | 2.0m（可根据用户要求调整） |
大支架 | 1套 |
控制箱+线槽 | 1个（PCB板，连线，电源，路由器） |
电脑配置
网线 | 25米超5类线 |
网络适配器 | 路由器+其他网络配件 |
电脑(台式机一台) | 19寸TFT显示屏， Intel CPU ，鼠标+键盘+3年保质期 |
测量系统配置
反射（0度入射角）配件 | 光学器件，光源， 特殊机械配件， 光纤光谱仪，光纤， 硅片 |
技术参数(光学部分):
测试方式 | 膜面反射 |
波长范围 | 380-820（可见光）湿膜/380-1050(可见光),干膜 |
厚度测量范围 | 100纳米-200微米（可见光） |
精度 | 0.5%(30次单点测量1阶标准差) |
测量单点时间 | 小于1秒 |
测量点 | 1mm (0度角反射) |
光源和寿命 | 钨卤素灯 平均预期寿命10,000小时 |
操作环境 | 5-35度；5-90%不结霜 |
入射角 | 0度角 |
表中的性能指标还和材料，膜层结构，粗糙度等有关
软件
1套 | 一套测量软件和膜厚仿真拟合软件 |
软件系统功能：
1、光谱反射，计算出膜厚参数； |
2、系统有手动、自动、系统校准模式。手动模式时，可在计算机上控制测量，膜到位后，按测量按钮即测量该点的光谱膜厚；自动测量模式时在膜到位后进行自动测量；系统校准模式时，检查系统设置，硬件状态等。 |
3、膜厚度的历史趋势曲线，丰富的公差和报警阈值设定功能，如可设定公差带和报警阈值。 |
4、存储、管理测量系统的测量结果，方便回溯 |
5．仿真不同角度的膜面反射反射光谱曲线。可用于膜系开发。 |
6、具有数据人工备份功能，以防数据意外丢失；系统安装完毕后，提供系统备份硬盘，防止原始系统意外损坏； |
7、打印颜色参数扫描曲线，数据表，打印光谱曲线，打印屏幕图像等功能； |
8、系统全部操作均在控制室内计算机上完成。 |
