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全自动接近式光刻机

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  • 公司名称大族激光科技产业集团股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号DSI-D-PHA0006-A01
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-01-15
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大族激光是世界主要的激光加工设备生产厂商之一,2014年公司销售收入超过55亿元人民币,位居世界激光企业前三位,国内激光设备占有率位。目前公司是广东省装备制造业重点企业、广东省产品企业、深圳自主创新企业,主要科研项目被认定为*火炬计划项目。

大族激光为国内外客户提供一整套激光加工解决方案及相关配套设施,主要产品包括:激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、高功率激光切割及焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、直线电机、LED设备等多个系列二百余种工业激光设备及其配套产品。公司产品涉及电子电路、集成电路、仪器仪表、计算机制造、手机通讯、汽车配件、精密器械、建筑建材、服装服饰、城市灯光、金银首饰、工艺礼品等多种行业。

激光切割机,激光切管机,3d打印机
主要特点:1、设备采用高照度、高均匀性的365纳米紫外光学系统
全自动接近式光刻机 产品信息



主要特点:

1、设备采用高照度、高均匀性的365纳米紫外光学系统,实现最小1um光刻分辨率(可根据客户需求定制、可选用LED光源) 

2、采用接近式的工作方式(可选接触式、真空式),双工位全自动上下料、24小时持续生产,产能处于水平

3、*的电源调节系统配合电驱动式光源调节系统,可连续不间断调节曝光功率,适配多种生产场景需求 

4、搭载高精度CCD相机,实现正面1um精确对位,精密的掩膜版/光刻胶间隙(Gap)控制



主要参数:


主要参数加工尺寸曝光尺寸:6"*6"
加工速度>140pcs/h(曝光时间=15s)
>300pcs/h(曝光时间=3s)
加工精度曝光分辨率:3μm (支持客户定制)
平台定位精度X 轴: ±1μm
Y 轴: ±1μm
Z 轴: ±3μm
Theta 轴: 0.1°
激光器参数光源:500W UV Lamp,波长365nm (光源可选UVLED或UV汞灯,支持客户定制)
感光区域:132*132mm (支持客户定制)
工作照度:≥34mw/cm2
光源均匀度:≤3%
曝光均匀度:≤10%
Tact time9s(不包含曝光时间)
稼动率>0.95



加工效果:


关键词:激光器

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