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LED步进式光刻机

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  • 公司名称大族激光科技产业集团股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号DSI-D-PHS0406-A01
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2022-01-13
  • 访问次数648
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大族激光是世界主要的激光加工设备生产厂商之一,2014年公司销售收入超过55亿元人民币,位居世界激光企业前三位,国内激光设备占有率位。目前公司是广东省装备制造业重点企业、广东省产品企业、深圳自主创新企业,主要科研项目被认定为*火炬计划项目。

大族激光为国内外客户提供一整套激光加工解决方案及相关配套设施,主要产品包括:激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、高功率激光切割及焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、直线电机、LED设备等多个系列二百余种工业激光设备及其配套产品。公司产品涉及电子电路、集成电路、仪器仪表、计算机制造、手机通讯、汽车配件、精密器械、建筑建材、服装服饰、城市灯光、金银首饰、工艺礼品等多种行业。

激光切割机,激光切管机,3d打印机
主要特点:设备特点:适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺,采用超大曝光视场,大大减少曝光次数,显著提高产能;同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点
LED步进式光刻机 产品信息



主要特点:

设备特点:

适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺,采用超大曝光视场,大大减少曝光次数,显著提高产能;同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点。 


主要参数:


主要参数加工尺寸4”、6“晶圆
加工速度4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辨率2μm L/S
平台参数定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz:10urad
激光器参数光源:2000W UV Lamp,波长365nm
感光区域:53*38.5mm
工作照度:>550mW/cm2(New lamp)
光源均匀度:≤3%
Tact time4”:43.1秒(片),循环TT 25.6秒
6”:49.1秒(片),循环TT 31.6秒
稼动率>95%



加工效果:



关键词:激光器

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