详细说明
产品型号：SuperView W2
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产品名称：光学3D表面轮廓仪
- 光源：白光/绿光LED（单双可选）
- 影像系统：1024×1024
- 干涉物镜：2.5×，5×、10×、20×、50×、100×
- XY平台移动范围：200mm×200mm
- 控制方式：电动
- Z轴行程：100mm
- Z向扫描范围：10mm
- Z向扫描速度：>45μm/s
- Z向分辨率：0.1nm
- 可测样品反射率：0.05%-
- 水平调整：±6°电动
- 粗糙度RMS重复性：0.005nm
- 主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效
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一、产品简介
SuperView W2光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
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SuperView W2光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
二、产品功能
1.一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。
2. 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3.测量中提供拼接测量功能。
4. 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5.分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
6.分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
三、应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）
光学元器件.曲率&轮廓尺寸&粗糙度 
（超精密）加工.轮廓尺寸&角度
表面工程（摩擦学）.轮廓面积&体积 
3C电子（玻璃屏）.粗糙度
标准块.台阶高&粗糙度
附录1.依据 ISO/ASME/EUR/GBT等国内外标准计算的2D，3D参数表：
2D参数表
标准名
参数
ISO 4287-1997
主剖面
粗糙度
波纹度
振幅参数
Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku
Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku
Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku
间距参数
PSm,Pdq
RSm,Rdq
WSm,Wdq
物料比参数
Pmr,Pdc
Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)
Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)
峰值参数
PPc
RPc
WPc
ISO 13565
ISO 13565-2
Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk
ISO 12085
粗糙度图形参数
R,AR,R× ,Nr
波纹度图形参数
W,AW,W×,Wte
其他图形参数
Rke,Rpke,Rvke
AMSE B46.1
2D参数
Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt
DIN EN ISO 4287-2010
原始轮廓参数
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度参数
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,
波纹度参数
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
JIS B0601-2013
原始轮廓参数
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度参数
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
波纹度参数
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
GBT 3505-2009
原始轮廓参数
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度参数
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
波纹度参数
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
3D参数表
标准名
参数
ISO 25178
高度参数
Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa
函数参数
Smr,Smc,S×p
空间参数
Sal,Str,Std
复合参数
Sdq,Sdr
体积参数
Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv
形态参数
Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv
功能参数
Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq
ISO 12781
平面度参数
FLTt,FLTp,FLTv,FLTq
EUR 15178N
振幅参数
Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St
空间参数
Str,Std,Sal
复合参数
Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd
面积体积参数
Smr,Sdc
函数参数
Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq
功能性指标参数
Sbi,Sci,Svi
EUR 16145 EN
振幅参数
Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku
混合参数
Ssc，Sdq，Sdr
功能性指标
Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk
空间参数
Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi
硬度参数
Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp
ASME B46.1
3D参数
St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt
