SpeedFam-LapmaSTeR dSm 16B
DSM16B双面设备为高精密、精加工或半精加工系统,能够同时研磨、精磨、金刚石抛光或者软抛光工件的两面。DSM16B用途广泛,可以满足传统金属加工要求,并可加工薄的、易碎的、半导体及光学材料。
DSM的加工工艺是将工件放置在上下旋转的盘之间。对于软抛光加工,在抛光盘表面贴上特殊抛光垫达到所需的粗糙度。
决定SPEEDFAM-LAPMASTER双面设备的加工质量、速度及多功能性的关键所在是4-way运动原理。
4-way运动减少了加工时间,性能超过其他双面设备的2-way,及3-way性能。
4-way运动是如何实现的:工件装夹在夹具内,以实现4-way运动,包括;
上相对于夹具的转速和旋转方向(1和2);
夹具相对于上转速及旋转方向的旋转/斩道运动;夹具总是跟旋转方向保持一致(3);
夹具相对于上转速及旋转方向的轴向运动(4);
设备配置
硬件
4-Way 运动
盘面平面度主动控制系统
变速控制
多电机控制 (多达4个)
压力控制系统
齿轮形卡具
厚度自动控制
软件
摆臂式触摸屏控制系统t
安全登录等级
加工参数详细的图形显示
PLC控制主要功能
调制解调器连接
互锁系统