数字式流量开关 PFM7
 | ・对应氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合气体（Ar＋CO2）。 ・可实现保护气体的流量管理、数值管理。 ・设定小单位：0.01L/min。 ・重复操作精度：±1%F.S.。 ・无润滑脂。 ・将流量调节阀一体化（省配管、省空间）。 ・响应时间：可选择50ms、0.5s、1s、2s。 |
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| 系列 | 适合流体 | 额定流量范围（L/min） |
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| PFM7 | 干燥空气、N2、Ar、CO2 | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）为CO2的值 |
| PFM7-X731 | 对应Ar＋CO2的混合气体 | 0.2～7 0.5～25 0.5～20 1.0～50 1.0～40 2～100 2～90 2～80 |
数字式流量开关PFM7
| 系列 | 下载 |
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| PFM7 | |
| PFM7-X731 | |
高精度数字式压力开关 ISE30A
 | ・可实现保护气体的压力管理和数值管理。 ・对应氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合气体（Ar＋CO2）。 ・3步设定。 |
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| 系列 | 种类 | 额定压力范围 |
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| ISE30A | 正压 | －0.100～1.000MPa |
高精度数字式压力开关ISE30A
| 系列 | 下载 |
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| ISE30A | |
