小型直动2通电磁阀 VDW
 | ・用于空气、中真空、水。 ・主体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS。 ・有带快换管接头（树脂主体）的型号。 ・IP65。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
小型直动2通电磁阀VDW
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|---|---|
| VDW10/20 | |
水、空气用小型直动2/3通电磁阀 VDW
 | ※VDW10/20系列于2012年12月停产。 请选择NewVDW10/20系列。 ※VDW30系列于2015年7月停产。 请选择VX21系列。 ※3通阀VDW200/300仍在销售。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径 (mmφ) |
|---|---|---|---|
| VDW10/20/30 | N.C. | M5～1/4 (8A) | 1～4 |
| VDW200/300 | C.O. | M5～1/4（8A） | 1～4 |
水、空气用小型直动2/3通电磁阀VDW
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|---|---|
| VDW10/20/30 | |
| VDW200/300 | |
水、空气用小型轻量2通电磁阀 VDW-XF
 | ・采用体积小、重量轻的树脂主体（PPS）。 ・IP65。 ・消耗功率：3W（标准）、0.5W（带节电回路）。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VDW30/40-XF | N.C. | 快锁P7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10 | 1～6 |
水、空气用小型轻量2通电磁阀VDW-XF
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|---|---|
| VDW30/40-XF | |
高速2通阀 SX10
 | ・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。 ・长寿命 50亿次以上。 ・高频率 1200Hz。 ・薄型 9mm。 ・低功耗 4W。 |
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| 系列 | 流量 | 消耗功率 (W) | 高动作频率 (Hz) |
|---|---|---|---|
| SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
| SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
| SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
高速2通阀SX10
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|---|---|
| SX10 | |
| SX10 | |
| SX10 | |
薄型2、3通电磁阀 SX90/090
 | ・小型 全长：约38mm(2通阀)、54mm(3通阀) 阀宽、高：10mm 質量：10g(2通阀)、20g(3通阀) ・大流量 C［dm3/（s·bar）］：0.25(2通阀)、0.5(3通阀) 流量［L/min（ANR）］：45(2通阀)、90(3通阀) (0.2MPa时) |
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| 系列 | 阀构造 | C［dm3/（s·bar）］ | 流量［L/min（ANR）］ 0.2MPa時 | 切换方式 |
|---|---|---|---|---|
| SX91 | 2通直动式座阀 | 0.25 | 45 | 常断 |
| SX92 | 2通直动式座阀 | 0.12 | 22 | 通用 |
| SX090 | 3通直动式座阀 | 0.5 | 90 | 通用 |
薄型2、3通电磁阀SX90/090
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|---|---|
| SX91 | |
| SX92 | |
| SX090 | |
干燥空气用先导式2通电磁阀 VQ
 | ・高頻率动作。 高速响应7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。 ・内置快换管接头，便于配管。 ・DIN连接 可对应防尘、防喷流型（IP65）。 ・用于工件的吹气、吹扫。 ・集装底座型号：VV2Q22，VV2Q32。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VQ20 | N.C. | φ6～φ12 | 3.4 |
| VQ30 | N.C. | φ6～φ12 | 4.8 |
干燥空气用先导式2通电磁阀VQ
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|---|---|
| VQ20 | |
| VQ30 | |
小型化学液用直动2・3通电磁阀 LVM
 | ・低发尘、禁油、无金属 ※接触液体部分 ・分离构造 膜片将使用流体区域与点磁头驱动部分隔离开 ・消耗功率：1.0W以下（带节电回路） ・容积变化量（抽取量）：0.01μL以下 |
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| 系列 | 阀构造 | 阀形式 | 使用压力范围 | 孔口径（mm） |
|---|---|---|---|---|
| LVM07 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. | -75kPa〜0.1MPa | 0.8 |
| LVM09 直接配管型 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa〜0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(底座配管) |
| LVM10 直接配管型 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa〜0.25MPa | 1.4 |
| LVM15 直接配管型 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa〜0.25MPa (大0.6MPa) | 1.6 1(高压型) |
| LVM20 直接配管型 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa〜0.3MPa (直接配管型为0.25MPa) | 2 |
| LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | 直动摇臂型 | N.C. | 0〜0.25MPa | 1.5 |
小型化学液用直动2・3通电磁阀LVM
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|---|---|
| LVM07 底座配管型 | |
| LVM09 直接配管型 底座配管型 | |
| LVM10 直接配管型 底座配管型 | |
| LVM15 直接配管型 底座配管型 | |
| LVM20 直接配管型 底座配管型 | |
| LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | |
直动型2、3通电磁阀 LVMK20/200
 | ・低发尘、禁油、无金属。 ・使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。 ・分离构造 隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。 ・简单配管。 ・防止液体积留。 ・不需要调节流量。 |
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| 系列 | 阀形式 | 配管方向 | 接触液体部分材质 |
|---|---|---|---|
| LVMK | N.C. 万向型 | 下方配管 横向配管 | 主体：PPS 密封件：EPDM, FKM |
直动型2、3通电磁阀LVMK20/200
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|---|---|
| LVMK | |
夹管阀 LPV22-X1
 | ・为了让流体不接触阀的可动部，使用一次性的无污染物流入的管子，无需洗净工艺且更加卫生 ・小型，阀宽：20mm ・消耗功率：1.5W(内置节电回路) ・管子的耐久性提高 夹管部为圆弧形，降低对管子的损伤 ・管子易于更换（拆装） |
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| 系列 | 切换方式 | 阀形式 | 适合管子 |
|---|---|---|---|
| LPV | 直动型点磁阀 | N.O. | 硅树脂 外径ø4、内径ø2 外径ø5/32"、内径ø1/32" |
夹管阀LPV22-X1
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|---|---|
| LPV | |
隔膜阀 高纯度工艺气体用 AZ
 | ・用于精密洗净及洁净室组装。 ・全部产品均经过了氦气泄漏检测。 ・符合SEMI规格 ・采用方便作业的锻造主体。 |
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| 系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 气控型 | SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手动型 | SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
隔膜阀 高纯度工艺气体用AZ
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| AZ | |
| AZ | |
常闭型高真空电磁阀 XSA
 | ・低使用压力：1×10-6Pa(abs) ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。 ・有2种接头和内螺纹可选。 ・消耗功率：多削减25％。 ・多减小18％ 0.5kg→0.41kg。 |
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| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | 面密封接头 卡套式接头 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | Rc, NPT内螺纹 | 1/8, 1/4, 3/8 |
常闭型高真空电磁阀XSA
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| XSA | |
| XSA | |
