真空过滤器 ZFA
 | ・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。 ・滤芯过滤面积大。 |
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| 系列 | 连接口径 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
真空过滤器ZFA
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| ZFA10 | |
| ZFA20 | |
带快换管接头的真空过滤器 ZFB
 | ・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。 ・配管可快速拆装。 |
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| 系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| ZFB10 | φ4，φ6 | φ3/16，φ1/4 | 10～20 | 30 |
| ZFB20 | φ6，φ8 | φ1/4 | 30～50 | 30 |
| ZFB30 | φ8，φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
| ZFB40 | － | φ1/2 | 100 | 30 |
带快换管接头的真空过滤器ZFB
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| ZFB10 | |
| ZFB20 | |
| ZFB30 | |
| ZFB40 | |
直线型空气过滤器 ZFC
 | ・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa。 既可用于正压也可用于真空压。 ・采用防回转结构。 使用正压时，防止因松动造成零部件飞散。 ・有2种透明外壳材质可选。 聚碳酸酯（标准）、尼龙（订制规格）。 注1）供给压力0.1MPa、压差30kPa 注2）订制规格 |
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| 系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min（ANR）注1） 正压 | 流量 L/min（ANR） 真空压 | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC1□ | φ2, φ3.2 | φ1/8'' | 15/45 | 2/5 | 5，10注2） |
| ZFC3□ | φ3.2, φ4 | φ1/8'', φ5/32'' | 50/80 | 7/10 | 5，10注2） |
| ZFC5□ | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5，10注2） |
| ZFC7□ | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5，10注2） |
直线型空气过滤器ZFC
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|---|---|
| ZFC1□ | |
| ZFC3□ | |
| ZFC5□ | |
| ZFC7□ | |
真空用过滤器 AFJ
 | ・保护真空元件。 ・过滤精度：5,40,80μm。 ・大流量：max.660L/min（ANR）。 ・滤芯可在洗净后重复使用。 ・可去除水滴。 ・透明杯体保护罩将杯体*包覆。 |
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| 系列 | 连接口径 | *流量L/min （ANR） | 过滤精度 |
|---|---|---|---|
| AFJ | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 180，380，660 | 5，40，80 |
真空用过滤器AFJ
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|---|---|
| AFJ | |
真空过滤器 ZFC050
 | ・可直接安装的小型真空过滤器。 |
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| 系列 | 连接口径 IN側 | 路口监控 OUT側 | 过滤精度 (μm) |
|---|---|---|---|
| ZFC050 | M5×0.8，φ6 倒勾接头 | M5×0.8 | 3μm，20μm（公称） |
真空过滤器ZFC050
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| ZFC050 | |
