真空、破坏单元 VQD1000-V
 | ・适合0603芯片。 ・响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。 ・可实现无超调的平滑工件脱离。 ・无需调节真空、正压的切换时点。 ・不需要破坏空气的节流回路。 ・真空过滤器：ZFC050（订制规格）。 ※真空、破坏单元到工件的距离。 |
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真空、破坏单元VQD1000-V
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带节流阀的真空破坏阀 SJ3A6
 | ・内置2个阀柱。 ・使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。 ・宽10mm（与SJ3000系列尺寸相同）。 ・带能够调节破坏空气流量的节流阀。 ・真空側、破坏側内置可更换的过滤器。 ・可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。 |
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带节流阀的真空破坏阀SJ3A6
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带节流阀的真空破坏阀 SY3A□R SY5A□R
 | ・1台阀同时具有真空吸附和破坏功能。 ・带有节流阀，可调节破坏空气的流量。 ・在同一个集装式阀上可混合安装标准型阀。 ※使用单独EXH.隔板时 |
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| SY3A□R |
| SY5A□R |
带节流阀的真空破坏阀SY3A□R SY5A□R
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| SY3A□R | |
| SY5A□R | |
