?产品简介 NanoPVD-T15A是英国MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研级热蒸发系统,配置有常规电阻热蒸发系统及低温热蒸发系统,分别用于金属薄膜蒸镀及有机薄膜蒸镀,该系统被上许多学术团队采用,广泛应用于OLED/OPV/OFET的研究领域。 ?产品特性 ? 紧凑型桌面结构,模块化设计 ? 可同时用于金属薄膜蒸镀及有机薄膜蒸镀 ? 4英寸样品台 ? 真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度监测 ? 高可安装4个LTE低温热蒸发源(用于蒸镀有机物薄膜) ? 低温热蒸发源高温度600℃ ? 高2个电阻热蒸发源(用于蒸镀金属薄膜) ? 电阻热蒸发源的高温度1700℃ ? 高纵横比仓室,用于获得高质量薄膜 ? 操作简单:通过触屏或计算机实现全自动操作 ? 自定义并可存储多个recipe ? 操作安全:自带各种软硬件互锁功能 ? 可选加热样品台,高温度500℃ ? 可选旋转样品台 ? 售后维护简单 ? 兼容超净间 ?典型结构 ? 有机薄膜蒸镀:配置4个LTE低温热蒸发源 ? 金属薄膜蒸镀:配置2个电阻高温热蒸发源 ? 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀:配置2个电阻高温热蒸发源与2个LTE低温热蒸发源 ?应用 该系统用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。可广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。