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芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称哈尔滨芯明天科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号P51系列
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2020-08-10
  • 访问次数597
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哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器(压电陶瓷)和微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业,我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术,是了解和操纵微观世界的机器心脏。

   哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累,拥有了自己的核心技术,开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品,广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司;公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系,按照科研与产业化相结合的道路持续发展;公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力,并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

   微运动器(压电陶瓷)产品是微小运动或微小变化的执行器,典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

   微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器,与微运动器配套使用;具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

 

压电偏转镜,压电纳米扫描台,传感器,控制器
芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台 三维θxθyZ向压电偏摆台P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,8080mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台 产品信息

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台特性:

• ±1.1mrad/轴的θx, θy偏摆运动及Z向110μm直线运动 • 闭环定位精度高

• 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 响应速度快

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台外观形状

外观形状

产品运动示意图

闭环曲线

闭环传感精度高

频率负载曲线

仿真分析

P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台,偏转行程为±1.1mrad,Z轴直线行程可达110μm。

P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构,采用有限元分析进行优化,具有超高的刚度以及导向精度。

可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈,确保其具有良好的运动控制精度,直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上zui高的刚度,并减少角度偏差。铰链部分允许*精度的运动,因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超薄的设计适用于显微应用且可负载大镜片

产品测试

P51压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,非常适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的,台体非常薄,厚度仅为20mm,非常易于集成到高精度显微镜中。

校准调测

震动实验

3.三维θxθyZ向压电偏摆台

驱动方式

P51压电偏转台θxθy两轴采用90相差输入,并配合Z轴升降运动,再通过控制电压的大小,对于固定的光路距离,可进行一定范围的锥形范围扫描,如下右图所示。

应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

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