P54系列二维θxθy向压电偏摆台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特性：
• θx, θy偏摆运动 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄
应用实例
P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光武器等领域。
典型应用
• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲
• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统
• 微操作 • 掩模与晶片位置调整
闭环传感精度高
P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限 元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。
采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围±1.1mrad，分 辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S. 的重复定位精度。
台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为 80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、 计量、定位等应用的选择。
负载大镜片
P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透 射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
*控制器
| E01 | E72 | E70 |
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| 页码 157 | 页码 163 | 页码 167 |
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| 3路输出 | 3路输出 | 3路输出 |
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| 上位机通信、模拟、旋钮 | 模拟、上位机通信 | 模拟与数字控制 |
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| 开环/闭环 | 开环/闭环 | 开环/闭环 |
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| 平均功率7W/通道 | 平均功率6W/通道 | 平均功率5W/通道 |
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P54系列二维θxθy向压电偏摆台技术参数：
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型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P54.T2S P54.T2K |
单位 |
| 运动自由度 | θx, θy |
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| 标称偏摆角度 (0~+120V) | ±0.8/ 轴 | mrad±20% | |
| 大偏摆角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 轴 | mrad±20% | |
| 传感器类型 | SGS/- |
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| 闭/开环偏摆分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | |
| 闭环线性度 | 0.2/- | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 推/拉力 | 40/8 | N | |
| 运动方向刚度 | 0.5 | N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | 300 | Hz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 20/3.5 | ms±20% | |
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闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 50 |
Hz±20% |
| *行程 | 15 | ||
| 大承载 | 1 | kg | |
| 静电容量 | 3.6/ 轴 | μF±20% | |
| 材质 | 铝、钢 |
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| 重量 | 510 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
