P93系列快速*定位台 是加工微结构表面的关键,它决定了系统可以加工的微结构表面的复杂程度和加工后的表面精度,所以快速*定位系统FTS必须要能够实现高频率和高精度的进给。
P93 快速*伺服系统内部是由 PZT 压电陶瓷驱动，其工作原理是利用 PZT 压电陶瓷的逆压电效应，即在压电陶瓷的两极施加电压，压电陶瓷沿极化方向产生微形变。PZT 压电陶瓷具有高分辨率、高响应速度、大出力等特性，在微位移领域获得了广泛的应用。
P93系列快速*定位台 技术参数：
型号 |
尾缀S/C/L-闭环 尾缀K-开环 |
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| P93.X70C P93.X70L P93.X70K | P93.X100C P93.X100L P93.X100K |
单位 |
标称行程范围（0~120V） |
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| 65 | 95 | μm±20% | |
zui大行程范围（-20~150V） |
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| 90 | 120 | μm±20% | |
传感器类型 |
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| CAP/LVDT/- | CAP/LVDT/- |
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闭/开环分辨率 |
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| 7/10/3 | 15/20/10 | nm | |
闭环线性度 |
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| 0.05/0.1/- | 0.1/0.15/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 |
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| 0.03/0.05/- | 0.03/0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 |
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| <15 | <20 | μard | |
推/拉力 |
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| 400/50 | 300/25 | N | |
运动方向刚度 |
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| 5 | 3 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 |
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| 0.15 | 0.2 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 |
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| 10/7 | 30/7 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 |
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| 50 | 50 | Hz±20% |
*行程 |
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| 10 | 10 | ||
zui大承载 |
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| 20 | 20 | kg | |
静电容量 |
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| 15 | 15 | μF±20% | |
材质 |
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| 钢 | 钢 |
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重量 |
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| 4000 | 3500 | g±5% | |
应用
• 金刚石钻头进给 • 精密金属加工 • 高速工具控制 • FTS快刀伺服车削系统
• 工件定位 • 精密加工与研磨 • 大负载工件精密定位
特点
• 超高精度 • 承载能力大 • 闭环精度高 • 高刚度
| 防尘防液滴 | 采用大出力压电陶 |
| 快速*定位器采用的压电陶瓷的出力是其他压电平移台出力的几倍。 | |
| 高刚度 | 高精度 |
| 定位器台体材料采用不锈钢材质以确保加工过程中的稳定性，可以 结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。 | 不同于振动加工，*位置可以通过内置传感器进行反馈 |
| 快速*定位器刚度远大于常规压电平移台。 | |
