P51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特性：

θx, θy 偏摆运动，Z向升降 • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 透光孔：80×80mm

典型应用

• 扫描显微 • 激光合束对准与激光致盲

• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统

• 生物技术 • 掩模与晶片位置调整

仿真分析

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许 *精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高

P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转 行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用 有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其 具有的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米 级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

超薄的设计适用于显微应用

P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应 用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，非常易于集成到高精度显 微镜中。

P51压电偏摆/旋转台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。