P93.X100一维X向快速*定位器 118μm价格快速*定位器是为精密车削加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动*在运动方向快速微进给运动，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工。
特性 P93.X100一维X向快速*定位器 118μm价格
• 超高精度 • 承载能力大 • 闭环精度高 • 高刚度 • 运动行程118µm
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防尘防液滴、高刚度 | 采用大出力压电陶瓷 | 闭环分辨率高 |
快速*定位器可进行防尘防液滴处理，使其能工作在湿度环境。 定位器台体材料采用不锈钢材质以加工过程中的稳定性，可以结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。
| 快速*定位台采用的压电陶瓷的出力是其他压电纳米定位台出力的几倍。 | 不同于振动加工，*位置可以通过内置传感进行 反馈控制，实现纳米级分辨率。
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型号 | 尾缀C、L-闭环 | P93.X100C | P93.X100L | P93.X100K | 单位 |
尾缀K-开环 | |||||
运动自由度 | X | X | X |
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运动和定位 | |||||
标称行程范围（0~120V） | 95 | 95 | 95 | µm±20% | |
行程范围（0~150V） | 118 | 118 | 118 | µm±20% | |
传感器类型 | CAP | LVDT | - |
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分辨率 | 15 | 20 | 10 | nm，typ. | |
闭环线性度 | 0.1 | 0.15 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.03 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <20 | <20 | <20 | µrad | |
机械性能 | |||||
运动方向推/拉力 | 300/25 | 300/25 | 300/25 | N | |
运动方向刚度 | 3 | 3 | 3 | N/µm±20% | |
空载谐振频率 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | kHz±20% | |
空载阶跃时间 | 30 | 30 | 7 | ms±20% | |
空载工作频率* | 10%行程 | 50 | 50 | >50 | Hz±20% |
*行程 | 10 | 10 | >10 | ||
承载能力 | 20 | 20 | 20 | Kg | |
驱动性能 | |||||
静电容量 | 15 | 15 | 15 | μF±20% | |
其他 | |||||
工作温度范围** | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材质 | 钢 | 钢 | 钢 |
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外形尺寸（长×宽×高） | 120×60×60 | 120×60×60 | 120×60×60 | mm | |
重量 | 3500 | 3500 | 3500 | g±5% | |
出线长 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
传感/电压连接器*** | LEMO | LEMO | LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
