仪器用途
该设备主要用于COF.PCB在面板上的Bonding 效果，压接偏移检查与压痕检查，视场距离测量及系统数据上传CIM系统。仪器特点
X,Y轴手动，Z轴具有电动及自动聚焦功能。
该测量软件高度集成， 能提高检测效率及精度。
局部部件功能
标准控制系统布线图 被动式减震系统 工作台快速移动与减震系统的调压与控制系统
不同产品观察效果图
技术参数
| 仪器型号 | YVM-5040JX | YVM-10080JX | YVM-13075JX |
| 工作台尺寸（mm） | 706*606 | 1180*1040 | 1690*1150 |
| 玻璃台尺寸（mm） | 530*430 | 1050*850 | 1370*820 |
| 运动行程（mm） | X:500 Y:400 | X:1000 Y:800 | X:1300 Y:750 |
| 调焦行程（mm） | Z轴100mm | ||
| 测量与瞄准系统 | 高清数字彩色相机 | ||
| 测量视场 | 视频可视范围，根据物镜的大小来定 | ||
| 软件 | 源兴光学测量软件 | ||
| 示值误差（视场内）mm | 视场外精度X.Y小于等于（3+L/1000）um，Z小于等于（5+L/200）um | ||
| 照明系统 | 卤素灯表面光及轮廓光 | ||
| 外形尺寸（mm）长X宽X高 | 1050*800*950 | 1760*2180*1850 | 1990*1950*1610 |
| 仪器重量（KG） | 500 | 2300 | 2800 |
| 玻璃台承重 | 20KG | ||
| 仪器电源 | 220V(AC) 50HZ ,125W | ||
| 工作高度（mm） | 850 | 1050 | 1050 |
| 电动控制 | 微分干涉与偏光 | ||
