SC400LC机器人
●具有6轴的多关节结构，可实现灵活搬运
可用于从立式收纳盒中取出基板以及伴有倾斜，翻转等姿势变换的所有搬运工作
●拥有充足的可搬运能力的长臂延伸模式
有能处理G10基板的臂长，其行程大延伸至3.6m，上下行程为4.8m
SC400LC机器人
| 机器人型号 | SC400LC-01 | |||
|---|---|---|---|---|
| 结构 | 关节型 | |||
| 自由度 | 6 | |||
| 驱动方式 | AC伺服方式 | |||
大 工 作 范 围 | 臂 | J1 | 旋转 | ±2.62rad |
| J2 | 上下 | +1.83～-.44rad | ||
| J3 | 前后 | ＋2.09 ～ －.44 rad | ||
| 手腕 | J4 | 转动2 | ±5.24rad | |
| J5 | 弯曲 | ±2.09rad | ||
| J6 | 转动1 | ±6.28rad | ||
大 速 度 | 臂 | J1 | 旋转 | 1.40rad/s |
| J2 | 上下 | 1.40rad/s | ||
| J3 | 前后 | 1.40rad/s | ||
| 手腕 | J4 | 转动2 | 1.57rad/s | |
| J5 | 弯曲 | 1.57rad/s | ||
| J6 | 转动1 | 2.53rad/s | ||
| 大 搬运重量 | 腕部 | 400kg | ||
| 臂部 | 第1臂 | 10kg ※1 | ||
| J3轴上部 | 30kg ※1 | |||
| 手腕允许 静负荷 扭矩 | J4 | 转动2 | 1,960N・m | |
| J5 | 弯曲 | 1,960N・m | ||
| J6 | 转动1 | 980N・m | ||
| 手腕允许 大惯性 力矩 | J4 | 转动2 | 200kg・m2 | |
| J5 | 弯曲 | 200kg・m2 | ||
| J6 | 转动1 | 147kg・m2 | ||
| 清洁度 | 1000级（联邦标准209D） | |||
| 位置反复精度 | ±.5mm | |||
| 周围温度 | 10～30°C | |||
| 周围湿度 | 20～85%RH （应无结露） | |||
| 振动值 | 0.5G以下 | |||
| 设置条件 | 座架式 | |||
| 主机重量 | 3,800kg | |||
