东京精密+表面粗糙度测量机
SURFCOM NEX001表面粗糙度测量机
线性马达驱动部带动的具有优秀的可靠的性能的表面粗糙度测量用的传感器（传感器）
1000μm量程的粗糙度测量用传感器 比以往的800μm量程的传感器增加了25%的量程，Z方向量程达 到了1000μm。
搭载了新开发的可对应高倍率、宽范围测量的，设计简洁的传感器。 外径14 mm，测量范围1000 μm，测量倍率能达到50 万倍。
线性马达也适合往复运动，可准确定位并进行高速测量。传统的控制是组合了电机、 编码、 线性光栅尺的滚珠丝杠驱动控制，因此特别是对于三维的表面性状评价等，由于准确定位造成往复运动的控制响应性出现了极限。线性驱动基本上是仅靠线性马达和标尺的简单控制，因此可进行高响应性高精度的定位。
东京精密+表面粗糙度测量机
辅助行走距离
在不想浪费测量距离时或者只有极短的测量长度时非常有效。传统的测量机考虑到间隙和电机的启动特性，在进行数据采样前必须要有辅助行走的距离。东京精密着眼于线性马达的高响应性和无背隙，去除了辅助行走距离。
