NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点
常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的*结合。
双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到*化的小区域三维测图。
针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zui大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zui小0.1nm )
软件设置恒定微力接触。