日本UNION DCM-40/60 用于微电子行业,半导体行业
产品简介
两面观察测量显微镜产品介绍
两面观察测量显微镜
品牌:日本UNION
型号:DCM-40/60
DCM-40/60是一款设计*的显微镜,可分别或同时观察物体的表面和底面图像,并对两图像进行比较,还可以通过测量装置测量两图像(表面和底面)的偏差。可选的物镜有五种,放大倍率从50X~100X。测量精度可达1μm。
DCM-40/60主要应用于微电子行业,特别是在半导体行业。产品上下面尺寸有偏移时就可以直接对比测量,减少其它间接测量方式的误差且不会损坏产品。例如:晶圆划片基准印字偏移,柔性线路板线路间距,陶瓷电容片切割对位和IC框架边缘质量等应用。
规格:
型号 | DCM-40 | DCM-60 |
物镜 | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X |
工作台 | 50X50mm ~100X100mm | 150X150mm |
光源 | 150W卤素灯2套 | 150W卤素灯2套 |
工件厚度 | 20mm | 30mm |
选配件 | 照相系统、TV系统 |
测量步骤:
1.将"光路选择开关"旋转到"Top& Bottom"位置,调整上、下物体的光轴至重合。
2.将工件置于工作台上。旋转"光路选择开关"到"Top" 位置,对焦上表面. .
3.旋转“光路选择开关"到"Bottom" 位置, 对焦下表面。.
4.将“光路选择开关"旋转到"Top &Bottom"位置,测量两图像的位置偏差。
设备:
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