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苏州清芯卓半导体设备有限公司


清芯卓金属剥离清洗机

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参  考  价:500000 - 1200000 /件
具体成交价以合同协议为准
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    其他品牌

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    苏州市

联系方式:杨丽华查看联系方式

更新时间:2025-04-11 11:02:34浏览次数:48次

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产品简介
产地 国产 售后保修期 12个月
销售区域 全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台    

线性布局,自动传片,自动完成去胶工艺。 晶圆尺寸根据用户需求。 腔体共有三层,每层都有单独的药液排放 循环功能。 清洗多种金属颗粒和有机物残留。 药液在循环中,根据颗粒大小配备相应过滤系统。 药液恒温,或在线加热供给功能。 剥离(lift off)适应化学药液——NMP是N-甲基吡咯烷酮,一种有机物。 是高压供给药液,高温药液。 避免暴露,密封保存。 优良高级溶剂,是选择性强和稳定性好的极性溶剂。

详细介绍

晶片规格:

2-8〞单、双cassette

主要材料:

金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE/石英

工艺槽功能:

循环过滤+加热+抛动+回收

基础工艺流程:

Cu→QDR Ti→QDR Al→QDR

设备类型:

手动/半自动/全自动(定制)

Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm(非标)

适用于芯片大批量超精密集中清洗,PLC控制系统,中/英文操作界面,程序方便设置。


关键词:控制系统

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