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苏州清芯卓半导体设备有限公司
产地 | 国产 | 售后保修期 | 12个月 |
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销售区域 | 全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台 |
线性布局,自动传片,自动完成去胶工艺。 晶圆尺寸根据用户需求。 腔体共有三层,每层都有单独的药液排放 循环功能。 清洗多种金属颗粒和有机物残留。 药液在循环中,根据颗粒大小配备相应过滤系统。 药液恒温,或在线加热供给功能。 剥离(lift off)适应化学药液——NMP是N-甲基吡咯烷酮,一种有机物。 是高压供给药液,高温药液。 避免暴露,密封保存。 优良高级溶剂,是选择性强和稳定性好的极性溶剂。
晶片规格:
2-8〞单、双cassette
主要材料:
金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE/石英
工艺槽功能:
循环过滤+加热+抛动+回收
基础工艺流程:
Cu→QDR Ti→QDR Al→QDR
设备类型:
手动/半自动/全自动(定制)
Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm(非标)
适用于芯片大批量超精密集中清洗,PLC控制系统,中/英文操作界面,程序方便设置。
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