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当前位置：成都汉普升科技有限公司>>干法刻蚀系统>> 成都真空厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备
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所 在 地成都市
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更新时间：2023-11-13 11:29:57浏览次数：227次
成都真空厂家 surpass大
详情介绍
●Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。
●特别说明：根据用户不同的工况和工艺要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设备的匹配。
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