石英振动体清洗机的特点：

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。
■清洁度高，对半导体晶圆的损害最小。
与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。