上海智与懋检测仪器设备有限公司
免费会员

当前位置:上海智与懋检测仪器设备有限公司>>温度>>温度系统>> TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统

TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统

参   考   价: 99999

订  货  量: ≥1 件

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌其他品牌

厂商性质生产商

所  在  地合肥市

联系方式:查看联系方式

更新时间:2023-08-15 16:57:58浏览次数:509次

联系我时,请告知来自 机床商务网
同类优质产品更多>
测量对象 温度 产地 国产
智测电子TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台,测量精度可达mk级别,可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值,也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况,还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统

引言

      探针台是一个平台,上面配有微小的探针。这些探针能够与晶圆表面接触,从而实时测量晶圆的温度。作为晶圆测试中的关键设备,探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点精确对位,以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈,最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中,工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据。

典型的晶圆高低温测试通常涵盖温度范围从 -45°C 至 150°C,而在晶圆可靠性测试中,温度可能高达 300°C。然而,随着探针台进行温度变化,由于热膨胀和冷收缩效应,探针与卡盘之间可能会出现热漂移,从而影响探针与 PAD 点之间的对准,增加晶圆探针测试的难度。更有一些晶圆测试要求在**温度环境下,甚至达到 500°C 以上。随着温度的升高,探针台也将面临更大的温度范围测试压力。

【产品特点及功能】

1、精准测温能力:在半导体制造过程中,温度的微小变化都可能对器件的性能产生显著影响。我们的探针台晶圆测温系统通过*的传感技术,实现高度精准的温度测量,为生产过程提供即时、准确的数据支持。

2、广泛适应性:不同制程、不同材料、不同温度要求,我们都有您所需!我们的系统设计灵活多样,能够适应各种工艺条件和应用场景,为您的生产线带来更大的便利。

3、可靠性与稳定性:我们深知在半导体生产中,稳定性和可靠性是不可妥协的。因此,我们的系统经过严格测试和验证,以确保在长时间运行中保持出色的性能表现。

TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统

智测电子TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台,测量精度可达mk级别,可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值,也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况,还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量,保证温度传感器的长期测量精度。

合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制,为半导体设备提供可靠的国产解决方案。

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

X
该信息已收藏!
标签:
保存成功

(空格分隔,最多3个,单个标签最多10个字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~
在线留言