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隨著奈米時代的來臨,許多科技產業對精密度的要求已經從微米(micrometer),次微米(sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外,振動會是首先必須面對的問題。 德國BILZ公司以40年的防振實務經驗,研發出氣電控制主動防振系統AIS(Active Isolation System)。
AIS的推出已實際有效協助各科技產業解決所面臨的振動問題,如半導體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產業。
產品規格:需由顧客提供資料與環境測試再評估。
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