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FYM15B-7L双面研磨抛光机

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更新时间:2022-10-22 14:52:58浏览次数:394

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产品简介

本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

详细介绍

一、设备简介

本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

二、设备特点

1.机身结构优化设计,机架采用龙门式结构,刚性好,承压能力强,能满足高负载下高速稳定运行。

2.电机均采用变频电机且使用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,实现平稳的停止、加速、减速及换向,能有效的防止薄脆工件破碎。

3.游星轮传动采用柱销齿结构,传动平稳无冲击,游星轮使用寿命长。

4.上盘下降过程中,设置了快降和缓降,缓降行程在气缸行程范围内可调,缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整。

5.本机通过精密电气比例阀调整控制加工压力,可根据不同加工工艺要求,设定加工压力,压力控制精度高。

6.采用*的PLC系统,触摸屏操作面板,所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置,可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程。

7.齿轮及各运动部位采用集中润滑装置,润滑良好,整机使用寿命长。

8.上盘升降设计安全装置,在上盘升到顶时能有效的保护上盘不突然落下。

质量保证及售后服务:

1.质保期限:从验收之日起12个月但不超过发货之日起15个月。

2.在产品质量保证期内,如出现产品质量问题,买方有权随时要求卖方免费维修或更换;如属买方人员使用不当或自行改装导致设备不能正常使用,不在保固范围内,买方应承担卖方人员的差旅费和材料成本费用。

3.易损件不在质保范围内。

主要技术参数:

序号

项目

规格参数

1

上研磨盘尺寸

Ø1070×Ø500×40(mm)

2

下研磨盘尺寸

Ø1070×Ø500×40(mm)

3

游星轮数量

7

4

工件直径尺寸

Ø280(mm)

5

工件厚度

0.3-20(mm)

6

下研磨盘转速

0-60(rmp)

7

加工压力

800Kg

8

主气缸

160×400

9

下盘电机

7.5Kw

10

上盘电机

5.5Kw

11

砂泵电机

250w

12

设备总功率

14Kw

13

外形尺寸

1750×1250×2570(mm)

14

设备质量

≈3450Kg

安装条件:

序号

项目

指标要求

1

环境

室内地面平坦、无振动源

2

水源

纯水或自来水

3

电源

三相五线380V

4

压缩气源

0.6~0.8Mpa

5

温度

0℃-45

6

对湿度

≤95%

主要配置:

序号

项目

品牌

1

气缸

亚德客

2

减速器

恒星

3

轴承

哈、瓦、洛

4

可编程控制器〔PLC

西门子

5

人机界面

昆仑通态

6

精密电气比例阀

亚德客

7

电磁阀

亚德客

8

变频器

沃森

9

低压电器

品牌

随机备附件及工具:

序号

项目

规格参数

备注

1

工具

内六角扳手一套,一字/十字螺丝刀各一把,10"活动扳手一件

5台配1

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