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详细介绍
LuphoScan高速光学非球面3D测量系统
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域，能够测量物件角度大至90°度，测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着的重复性且低噪音。
可测量坡度的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量。
物件坡度高至90°度，是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头（如手机镜头模具）的理想选择。
Power和PV测定参数的稳定性。
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域，能够测量物件角度大至90°度，测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着的重复性且低噪音。
可测量坡度的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量。
物件坡度高至90°度，是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头（如手机镜头模具）的理想选择。
Power和PV测定参数的稳定性。
| 型号 | LuphScan120 | LuphScan260 | LuphScan420 |
| 测量直径 | Φ120mm | Φ260mm | Φ420mm |
| 表面形状 | 球面、非球面、平面、自由曲面 | ||
| 纵向分辨率 | 0.1nm | ||
| 精度 | 50nm | 250nm | 1μmmiu |
| 特点 | LuphoScan基于多波长干涉技术（MWLI）的干涉扫描系统，专为旋转对称的超精密非接触3D形状测量而设计。四个精密工作台保证灵活精密测量 | ||
| 应用范围 | 各种透镜，超精密旋转体研磨表面工件等 | ||
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