小型自动等离子清洗机

PE-25-JW是一款高质量的等离子清洗机，非常容易操作和使用，并能确保每次处理效果的一致性，重复性。该系统带自动过程能力。所有的定时时间（关闭真空泵，产生等离子，气体稳定和排气）都可以编辑进自动运行的序列。PLC键盘用于操作员进入，并将相应的序列存储起来，以确保重复性。一键式气动和开始工作序列。这是我们成本的等离子清洗机，用于适用于小批量生产，研究和开发实验室，测试实验室，大学等等离子清洗和表面改性应用

所有PLASMA ETCH等离子清洗采用电容平行板设计，是等离子产生方式。PE-25拥有一个150W 50HZ射频电源，并带连续可调功率能力。系统包含一个3.5"X7"水平直接驱动型射频电极，2.5"的间隔高度。配备PLC控制系统，PE-25带一个气体通道，可选第二个气体通道。处理过程自动化，有一个铝反应腔。

特性：

l 耐用6061 T6圆形铝真空腔，尺寸5“直径X8"深

l 单个3.5"X7"水平“直接接触“ 射频电极，2.5"的腔体操作空间

l 150W, 50KHZ连续可调射频电源，提供400W选项

l 1个旋转气体流量计， 0-25毫升/分钟，带精确针阀

l 热电偶真空计 0-1Torr

l PLC微型控制系统，键盘输入界面带字母显示。可以存储一组过程参数，用于自动过程控制。

电气和尺寸

反应器尺寸：14"W x 14.5"D x 18"H.

运输重量约52磅

电压：220VAC

选项

l 5 CFM 2级直驱油真空泵， 适合氧气（需用kryox泵油）

l 第二个旋转流量计用于第二种气体控制器， 0-25cc/min带精密针阀

l 100W, 13.56MHz射频发生器带自动调节

可选VENUS升级选项

PE-25可以提供VENUS升级选项，包括：

l 适用电脑/笔记本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH软件的台式机/笔记本，用于自动控制系统运行，编辑工作序列，多个状态存储以及更*的功能。

l 质量流量控制器

带一个质量流量控制器。可以配置更多的质量流量控制器。