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产品简介

XENOS超高精度三次元XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用—從科研機構的測量實驗室、航空和航太工業及光學工業

详细介绍

0.3 + L/1,000 μm

	X	Y	Z
9/15/7	900	1,500	700

XENOS採用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分佈於側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫樑於Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統一。

XENOS的所有軸均採用線性驅動。其優點：高速、加速極快、定位精度高。結合超高解析度光學尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低於100奈米的極高定位精度。

XENOS於Y軸向配備雙線性驅動系統，得益於蔡司的驅動技術可實現優異的同步控制。該技術可據X軸位置分佈驅動力。作為控制系統及演算法之結合，這是在整個測量範圍內獲得優異的測量精度及運動穩定性的關鍵因素。

XENOS在與精度密切相關的機器部件上採用創新的碳化矽陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。與常規陶瓷相比，碳化矽陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化矽陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

XENOS採用蔡司VAST gold測量探頭。在研發過程中，蔡司在測量精度和測量重複度方面對該探頭進行了優化。XENOS也採用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。

全新強化處理氣浮軸承具有優異的穩定性及測量精度。

通過全新的電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低。電腦輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮演著重要的作用。