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详细介绍
★优化标靶识别系统的内层高效曝光专门机型
★联线加工效率高达10000片/天
★高精度、层间对准度，满足精细线路加工
★曝光工序全数字化作业，跨入工业4.0智能制造
技术参数
曝光尺寸
大台面：24.5"×28.5"
标准台面：22"×24.5"
层间对位精度
±25µm
光源
405nm
板厚
单机：0.05-5.0mm
连线：0.075-2.5mm
景深
±300µm
线宽精度
±10%
对位精度
±12µm
适配性
适配于智能制造系统
生产效率
单机：420面/小时
连线：10000panels/day
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