当前位置:上海纳动纳米位移技术有限公司>>压电纳米位移定位系统>> PKWL70-080UX、Z轴压电陶瓷扫描台-纳动纳米
产地 | 进口 | 销售区域 | 全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外 |
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谐振频率(0g) | (XZ)190 Hz、220 Hz | 运动方向刚度 | 0.3 N/μm |
运动方向推力/拉力 | 30N / 10N |
产品描述
PKWL70-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台,每个轴都经过机械预加载。*的产品设计非常紧凑,在XZ运动轴上的运动均可达80µm(闭环)行程,并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具,例如:光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响,并且PKWL70-080U定位系统可以配备电容测量系统,PKWL70-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
PKWL70-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XYZ轴版本(80μm)
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵
结构原理 堆叠形式 典型应用
PKWL70-080U系列技术参数
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