X、Y、Z轴压电陶瓷纳米台-纳动纳米 返回列表页

产品描述

PS3L45-030U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。

超薄型设计，外形尺寸仅有45x45x23.5mm，具有体积小巧，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。

PS3L45-030U系列纳米位移台内部可集成SGS位置传感器，闭环采用全闭环设计，高精度柔性系统，具有零摩擦等特点，使其具有更高的定位精度及线性精度。

压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。 在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

选配功能

—可定制孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可提供X/XY/XZ版本

应用领域

—原子力显微镜、扫描探针显微镜

—测量、计量

—光学探针、光学扫描、光束对准

—微流体技术

                    结构原理                                           位移特性                                             典型应用

PS3L45-030U系列技术参数