当前位置:上海纳动纳米位移技术有限公司>>压电纳米位移定位系统>> PS2H45-012UX、Y轴压电陶瓷纳米台-纳动纳米
产地 | 国产 | 销售区域 | 全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外 |
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谐振频率(0g) | 3000 Hz | 运动方向推力/拉力 | 450N / 100N |
运动方向刚度 | 30 N/μm |
产品描述
PS2H45系列由两维X轴叠加组合,沿X,Y轴提供12、30、50、70或100 µm的运动范围。(标准产品行程为12μm,其它行程均可定制)。
PS2H45系列纳米定位器是我们高速产品线的一部分,可提供大功率控制器,使其进行超高速驱动运动。
PS2H45-012U系列是具有纳米级定位分辨率的高速,多轴,精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性。可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重复的位置测量。
体积小,具有超高谐振频率,高稳定性,高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。参数可根据客户要求定制。
PS2H45-012U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面,具有高刚性,即使在高负载下可实现稳定定位。
选配功能
—可定制固定、负载安装孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ/XYZ版本
应用领域
—高运动平面度和直线度的纳米定位
—测量、计量
—掩模/晶圆定位
—表面测量技术
结构原理 位移特性 典型应用
PS2H45-012U系列技术参数
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