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更新时间：2023-01-20 11:12:30浏览次数：199次

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产品简介
LMG2A

详情介绍

产品介绍:

产品特征:

行程4m x 4m 
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度可达50nm


产品应用:

半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备 
PCB设备
水刀设备
钻石切割设备 
AOI检测设备
工具机

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