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详细介绍
| 应用范围 | |
| 半导体设备 / 测定机器 / 检验设备 / 奈米平台 |
品号 | 轴尺寸 | 精度等级 | 导程精度 | CAD | ||||
L1 | L2 | L3 | 目标值(T) | 误差E | 变动e300 | |||
FSM0601-C3-1R-0105 | 65 | 75 | 105 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM0601-C3-1R-0135 | 95 | 105 | 135 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM0601-C3-1R-0165 | 125 | 135 | 165 | 3 | 0 | 0.013 | 0.008 |
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螺纹数/螺旋方向 | 1/右 | |
节圆直径 | 8.3 | |
导程 | 2 | |
钢珠直径 | 1.588 | |
循环圈数(圈×列) | 2.5 × 1 | |
导程角 | 4.39 | |
额定动负荷Ca(kgf) | 190 | |
额定静负荷Co(kgf) | 290 | |
轴向间隙 | 0 | 0.005以下 |
预压扭矩(kgf-cm) | 0.01~0.2 | 0.05以下 |
品号 | 轴尺寸 | 精度等级 | 导程精度 | CAD | ||||
L1 | L2 | L3 | 目标值(T) | 误差E | 变动e300 | |||
FSM0802-C3-1R-0138 | 80 | 92 | 138 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM0802-C3-1R-0168 | 110 | 122 | 168 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM0802-C3-1R-0198 | 140 | 152 | 198 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM0802-C3-1R-0248 | 190 | 202 | 248 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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螺纹数/螺旋方向 | 1/右 | |
节圆直径 | 10.3 | |
导程 | 2 | |
钢珠直径 | 1.588 | |
循环圈数(圈×列) | 2.5 × 1 | |
导程角 | 3.54 | |
额定动负荷Ca(kgf) | 220 | |
额定静负荷Co(kgf) | 370 | |
轴向间隙 | 0 | 0.005以下 |
预压扭矩(kgf-cm) | 0.01~0.3 | 0.05以下 |
品号 | 轴尺寸 | 精度等级 | 导程精度 | CAD | ||||
L1 | L2 | 1L3
| 目标值(T) | 误差E | 变动e300 | |||
FSM1002-C3-1R-0168 | 110 | 122 | 168 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1002-C3-1R-0218 | 160 | 172 | 218 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1002-C3-1R-0268 | 210 | 222 | 268 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1002-C3-1R-0318 | 260 | 272 | 318 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1002-C3-1R-0368 | 310 | 322 | 368 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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螺纹数/螺旋方向 | 1/右 | |
节圆直径 | 12.3 | |
导程 | 2 | |
钢珠直径 | 1.588 | |
循环圈数(圈×列) | 2.5 × 1 | |
导程角 | 2.96 | |
额定动负荷Ca(kgf) | 240 | |
额定静负荷Co(kgf) | 450 | |
轴向间隙 | 0 | 0.005以下 |
预压扭矩(kgf-cm) | 0.04~0.4 | 0.1以下 |
品号 | 轴尺寸 | 精度等级 | 导程精度 | CAD | ||||
L1 | L2 | L3
| 目标值(T) | 误差E | 变动e300 | |||
FSM1202-C3-1R-0180 | 110 | 125 | 180 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1202-C3-1R-0230 | 160 | 175 | 230 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1202-C3-1R-0280 | 210 | 225 | 280 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1202-C3-1R-0330 | 260 | 275 | 330 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1202-C3-1R-0380 | 310 | 325 | 380 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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螺纹数/螺旋方向 | 1/右 | |
节圆直径 | 16.3 | |
导程 | 2 | |
钢珠直径 | 1.588 | |
循环圈数(圈×列) | 3.5 × 1 | |
导程角 | 2.24 | |
额定动负荷Ca(kgf) | 360 | |
额定静负荷Co(kgf) | 850 | |
轴向间隙 | 0 | 0.005以下 |
预压扭矩(kgf-cm) | 0.05~0.5 | 0.15以下 |
品号 | 轴尺寸 | 精度等级 | 导程精度 | CAD | ||||
L1 | L2 | L3
| 目标值(T) | 误差E | 变动e300 | |||
FSM1602-C3-1R-0221 | 139 | 154 | 221 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1602-C3-1R-0271 | 189 | 204 | 271 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1602-C3-1R-0321 | 239 | 254 | 321 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
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FSM1602-C3-1R-0371 | 289 | 304 | 371 | 3 | 0 | 0.012 | 0.008 |
|
FSM1602-C3-1R-0471 | 389 | 404 | 471 | 3 | 0 | 0.013 | 0.008 |
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